快科技6月8日音尘，针对外界称台积电因保守不肯投资下一代光刻竖立的传言，台积电董事长魏哲家近日在鞭策大会上亲身辟谣，示意有买High-NAEUV光刻机，且正用功研发，但基于老本考量，现阶段暂不插足量产。
这台ASML研发的最新High-NAEUV光刻机，每台单价高达3.8亿至4亿好意思元，是现时主流EUV竖立的两倍多。魏哲家坦言，竖立太贵是暂不量产的主因。
斗鱼体育app中国官网下载台积电的计策是先用好手里现存的EUV竖立。魏哲家强调，现存光刻机搭配多重图案化工夫，现金炸金花游戏软件仍足以撑握先进制程的微缩需求，台积电有底气等High-NAEUV的经济账算得更合算时再首先。
台积电早在2024年9月就接管了首台High-NAEUV光刻机，并安置在研发中心用于开拓下一代工艺的基础光刻工夫。魏哲家觉得，提前启动研发准备，智商确保以前投产时达到可靠良率与产出后果。
不外他坦言，要把这台4亿好意思元的竖立确实用起来，还需再等等。英特尔等竞争者早已将High-NAEUV提上量产日程，而台积电采用先研发、后投产更稳妥的道路，稳当其一贯的老本顺次。
魏哲家预测，High-NAEUV将在确实需要单次曝光收尾更幽微线宽且晶圆老本驱动具备竞争力的时刻点，当然进入出产体系。
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